机译:光刻和在应变硅中掺杂以实现原子精确的器件制造
hydrogen lithography; STM-based devices; Si; strained silicon on insulator; delta doping;
机译:光刻和在应变硅中掺杂以实现原子精确的器件制造
机译:通过通过无抗抗性光刻图案化的单层掺杂来制造原子掺杂线
机译:电子束光刻和软光刻技术制造和集成聚合物集成光学器件
机译:使用用于光刻的低成本和简单的接触曝光工具的精密微流体装置的制造
机译:硅锗/硅垂直MOSFET和侧壁应变硅器件:设计和制造。
机译:使用纳米压印光刻技术制造全透明的基于聚合物的封装纳米流体器件
机译:用于接触原子级精确的全光学光刻工艺 设备