机译:液态二甲基(N-乙氧基-2,2-二甲基丙酰胺基)铟的等离子体增强原子层沉积在低温下生长氧化铟薄膜,以用于高迁移率薄膜晶体管
novel indium precursor; indium oxide; low-temperature plasma-enhanced atomic layer deposition; high-mobility thin film transistor;
机译:液态二甲基(N-乙氧基-2,2-二甲基丙酰胺基)铟的等离子体增强原子层沉积在低温下生长氧化铟薄膜,以用于高迁移率薄膜晶体管
机译:用于薄膜晶体管应用的氧化铟镓薄膜的原子层沉积
机译:通过等离子增强原子层沉积的高迁移率多晶氧化铟薄膜晶体管
机译:具有锆掺杂氧化铟沟道层的高迁移率柔性薄膜晶体管
机译:氧化铟基透明导电氧化物薄膜的金属有机化学气相沉积:前体合成,膜生长和表征及其在聚合物发光二极管器件中的应用。
机译:用于薄膜晶体管的氧化铟纳米膜的原子层沉积
机译:使用低温原子层沉积柔性高性能无定形氧化锌薄膜晶体管
机译:二元和三元氧化物薄膜原子层外延低温沉积过程的研究