共焦点顕微鏡·ラマン分光複合装置による応力·歪測定：MEMSの信頼性評価への適用

摘要

顕微ラマン分光装置の試料観察顕微鏡部分を通常用いられる光学顕微鏡に加えて、共焦点顕微鏡を採用した共焦点顕微鏡·ラマン分光複合装置の開発を行った。 共焦点顕微鏡は、従来の光学顕微鏡の限界を超えた解像力、焦点深度を得ることができ、高倍率でも鮮鋭な画像が得られ、立体観察も容易であるという特徴を持つ。これより、理学、工学、医学などさまざまな分野において広く用いられている。本稿では、ラマン分光法の原理および共焦点顕微鏡·ラマン分光複合装置について述べた後に、MEMSの歪評価として、MEMSデバイスとして典型的な構造であるシリコンダイヤフラム構造を持つ圧力センサの評価事例を紹介する。