Вакуумно-дуговые карбонитридтитановые покрытия, осажденные из сепарированных плазменных потоков

摘要

Приведены результаты исследования состава, текстуры, остаточных напряжений, микротвердости вакуумно-дуговых карбонитридтитановых покрытий, осажденных из сепарированных плазменных потоков в зависимости от технологических параметров осаждения и соотношения компонентов реакционной газовой среды.