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The design and technology of test matrix making for electrophysical investigation of film current conducting systems

机译:薄膜导电系统电物理测试用测试矩阵制作技术

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摘要

The drop-in and geometry design photomask for testing metallization of VLSI was constructed on base experimental investigation of construction and technology especially of array testing.
机译:在对结构和技术尤其是阵列测试技术进行基础实验研究的基础上,构建了用于测试VLSI金属化的嵌入式和几何设计光掩模。

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