В работе теория инвариантов эллипсометрии изотропных сред обобщена на случай произвольных измерительных конфигурации прибора. Исследованы основные свойства инвариантов, проявляющиеся при различных типах конфигураций. Разработан общий подход к выбору измерительных конфигураций прибора обеспечивающих максимальный эффект в устранении особенностей в обобщенных зонных соотношениях эллипсометрии анизотропных сред. При этом (в принятом приближении) в полной мере использованы свойства инвариантов эллипсометрии изотропных сред. Проанализированы различные типы измерительных конфигурации. В то же время выявлен класс измерительных конфигураций, радикально отличающихся от классической конфигурации, но не устраняющих особенности.
展开▼
