СКАНИРУЮЩИЙ МИКРОСКОП ИОННОЙ ПРОВОДИМОСТИ С ОДНОВРЕМЕННОЙ ВИЗУАЛИЗАЦИЕЙ ПОВЕРХНОСТИ ОБРАЗЦА В ПОЛУКОНТАКТНОЙ СИЛОВОЙ МОДЕ

摘要

Предложен и исследован зондовый датчик для одновременной работы в полуконтактном силовом режиме и в режиме сканирующей микроскопии ионной проводимости (СМИП). Проведено численное моделирование изображения ступеньки на поверхности диэлектрического образца в режиме СМИП. Представлены экспериментальные результаты, полученные при сканировании тестового образца.