СВОЙСТВА ПОКРЫТИЙ Al_2O_3+Cr+TiN ПОСЛЕ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ОБРАБОТКИ

摘要

Методами растровой электронной микроскопии с микроанализом, обратного рассеяния протонов и рентгеноструктурного анализа было проведено исследование морфологии поверхности, элементного и фазового состава композиционных покрытий Al_2O_3+Cr+TiN, нанесенных комбинированным способом с использованием импульсно-плазменной и вакуумно-дуговой технологий и последующей обработкой электронным пучком. Показано, что после облучения покрытия высокоэнергетическим потоком электронов происходит изменение структуры, состава и свойств композиционного покрытия.