超高精度三次元形状測定装置(AFM)AS-7Bシリーズ

摘要

液晶表示パネルの大型化にともない、歩留まり向上のためにより緻密な品質管理、不良解析ニーズが高まっている。 特にサブミクロン分解能における表面形状観察はもはや光学式の顕微鏡では不可能な領域であり、SEM（走査電子顕微鏡）による観察が主流になっている。 しかしながらSEMはっーティングを必要とするうえにサンプルサイズが数cm以内に限られ、サンプル切り出しから測定までには手間と時間が必要である。 最近、微小形状を測定する別の観察手法として、AFM（原子間力顕微鏡）を用いるケースが様々な分野で広まっており、液晶分野に於いても導入されてきている。