わかりやすく学べるクリーンルームの基礎と汚染対策 第19回 対策－各論［塵埃·ミスト］（その4）

摘要

前回（第18回）は、HEPA／ULPA フィルタによる塵埃（粒子）の捕集原理、及び試験項目について解説した。今回（第19回）は、塵埃·ミストに関連する対策の、残りの部分の解説を行う。また、後の回で言及する「対策総論（主に普遍的な内容）」に関連することも、少しではあるが記したい。