サーボシステムにおける制振制御技術：サーボシステムの位置制御に欠かせない制振制御技術の手法と適用事例を解説

摘要

サーボシステムは従来、工作機械やロボットの動力源を中心として使われてきたが、IT化の急速な伸長により半導体製造設備やモバイル向け生産設備の用途が急速に拡大している。 サーボシステムを機械に適用する目的は図1に示すように、機械の高精度化、タクトタイムの短縮、機械の小型化および効率化などである。また占める割合は低いものの、油空庄この電動化、低騒音、環境対策（廃油対策）で使用されている。