帯電人体のもつ金属棒の衝突で生ずる放電電流を用いた絶縁破壊電界の推定

摘要

近年のICの高速·低消費竃力化に，静電気放電（ESD：Electrostatic discharge）がリき起こす過脾隠碇雑音による電子機器の誤動作が問題となっている．著者らはこれまで，楷電人体からの放一路電流の発生機構側≠使月的として．企偶棒を保った楷魔人体からの放電電流を6GHzディジタルオシロスコープで測定し，電流計算モデルを根来した．同モデルから，本火は正接測定できない肝麗人体叫懐触過程における放電電圧波形が推定できること，結果として火花に純きアーク放髄が発生していること，600V以下の稚稲亀住では金属棒の接近速度に拘わらず，おおよそ一定の絶縁破顔電界（2*107V／m）で放電すること，などを明らかにした．本文ではト上述の電流計算モデルから放電竃圧波形を計算する際の数値計算が絶縁破壊電界の推定値にどのような影響をおよばすかを考察した．まず，人体からの放蒐亀流を広帯域ディジタルオシロスコープ（帯域：12GHz；サンプリング周娘潤い40GHz）で新たに碇し，電流計算モデルから放電竃は激形をフーリエ逆変換とたたみ込み楯分の数値計算法で計算した．その紆乱数学的には等価な計算式であっても，両手法による数値計辞結果は厳偏には異なるものの，放電直後は概ね一致していることが判明し，600Vの帯電電圧で推定される火花長は20~30[μm]，絶縁破壊電界は2～3×107【V／m】であること，などが確認できた．