Self-Aligned Quadruple Patterning のための3 色グリッド上の異色ネットを考慮した配線手法

摘要

Self-Aligned Quadruple Patterning（SAQP）は半導体の微細化限界を超える為の有望な技術の一つである．本論文では，ネットのピン配置の制限を緩和した場合でもSAQP で製造可能な配線パターンを生成する手法を提案する．この提案手法は，あらかじめ一部に色を塗った3色グリッドを用いる配線手法の拡張である．3 色グリッドを用いる配線手法では，ネットは同色グリッド間に制限され，異色グリッド間のネットは考慮されていなかった．提案手法では，異色ネットのピンを拡張しグリッド構造を部分的に修正することで，異色グリッド間の配線を可能にする．