相互透過係数の固有ベクトルを用いたホットスポット検出方法の検討

摘要

本論文では、光学条件から定まる相互透過係数を固有値分解することで転写される光学像が、光学系カーネルとパターン上の振幅分布のコンボリューションで表されることに着目した。 カーネルが表している周辺への光近接効果の影響を用いて、露光マージンの少ないホットスポットと呼ばれる危険パターンの検出方法について検討を行う。 危険パターン検出に用いるカーネルを、最適露光条件のみではなく、フォーカスの異なる相互透過係数との差分を用いて計算することで、フォーカスマージンの少ない箇所についても危険パターンとして検出できることを確認した。 また、検出したパターンが実際のデバイス上においてもマージンが少なくなっていることを確認した。