Перераспределение макропор и их структура при анодном травлении одноосно напряженной поверхности кремния

摘要

Исследована динамика развития квазигексагональной структуры пор при анодном травлении изотропной поверхности кремния. Показано, что сформированный на первой стадии глубокого анодного травления (ГАТ) квазигексагональный порядок расположения пор не изменяется в ходе дальнейшего проведения процесса в идентичных режимах. Экспериментально продемонстрирована методика, позволяющая осуществлять ГАТ одноосно напряженных пластин. Исследовано влияние величины одноосных напряжений на порядок расположения ансамбля затравочных центров на поверхности в процессе первой стадии ГАТ. Установлено, что с увеличением величины приложенных напряжений происходит трансформация квазигексагональной схемы расположения пор на травящейся поверхности в периодически повторяющуюся одномерную, а при значительном увеличении нагрузки - в щелевую структуру пор. Для одноосных напряжений сжатая характерно формирование квазиодномерных, а при значительных нагрузках и квазищелевых структур.