СРАВНЕНИЕ ИЗМЕРЕНИЙ РАЗНОСТИ ПЛОТНОСТЕЙ В НАЦИОНАЛЬНОМ МЕТРОЛОГИЧЕСКОМ ИНСТИТУТЕ ЯПОНИИ И ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКОМ ФЕДЕРАТИВНОМ ИНСТИТУТЕ

摘要

Кремниевые монокристаллы применяются для определения числа Авогадро N_A на основе отношения молярного объема V_m и атомного объема V_a [1,2] N_A = V_m/V_a = M/(ρV_a). (1) Молярный объем V_m определятся как молярная масса M, деленая на плотность ρ идеального кремниевого монокристалла. Методом всплытия сравнивают плотности кремниевых образцов с очень высоким разрешением, и этот метод может быть использован для измерения разности плотностей кристаллов [3-6]. Гомогенность кристалла играет важную роль, т. к. M, ρ, V_a и концентрация примеси определяются с различными образцами из одного и того же выращенного кристалла. Метод всплытия используют также для определения абсолютной плотности кремниевого образца путем сравнения спервичным кремниевым эталоном плотности. В данной статье сравнивают результаты, полученные на двух устройствах всплытия в Национальном метрологическом институте Японии (NMIJ) и в Физико-техническом Федеративном институте (РТВ), Германия, а также результаты определения плотности другими методами.