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机译:多晶硅微系统冲击破裂的数值模拟
micro electro mechanical systems (MEMS); impact rupture; numerical simulation; fracture simulation; FINITE-ELEMENT MODEL; POLYCRYSTALLINE BRITTLE MATERIALS; GRAIN LEVEL MODEL; MECHANICAL CHARACTERIZATION; FAILURE INITIATION; FRACTURE-TOUGHNESS; ELASTIC-CONSTANTS; CRACK-GROWTH; MEMS; TESTS;
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