セントラル硝子、宇部でNF_3設備を600tに倍増～来年秋完成

摘要

セントラル硝子は、宇部事業所で半導体や液晶パネルの製造工程で使用されるNF_3（三フツ化窒素）を増産する。 40億円を投じて新たにプラントを1系列導入、生産能力を現行の倍の年産600トンに引き上げる。 12月より建設に着手し、2005年9月の完成を目指す。 NF_3は半導体?液晶パネル製造装置の洗浄ガスとして使用される。液晶パネルの大型化や半導体の高プロセス化により各種装置が軒並み伸長するなか、NF_3市場も拡大。