昭電、大口径Inp単結晶ミラーウエハー開発～月500枚規模で量産

摘要

昭和電工は、秩父事業所において世界で初めて、直径6インチ（150㎜）の半絶縁性インジウムリン（Inp）単結晶ミラーウェハーの開発に成功し、サンプル出荷を開始した。 また今年第3四半期末までに月産500枚規模の量産体制を確立する。 これに伴い同社は、エピタキシャルウェハーを含めたInp事業の売上げを2003年に40億円、2004年には80億円、さらに2005年には100億円に引き上げる方針。