Методами оптической и растровой электронной микроскопии, РОР и энергодисперсионного анализа изучено ионно-лучевое травление поверхности углерод-керамического композита при бомбардировке ионами Ar~+ и изменение состава поверхностного слоя при имплантации атомарными и молекулярными ионами азота. Показано, что имплантированный азот внедряется, в основном, в кремнийсодержащие структурные составляющие композита, а его концентрация в модифицированном слое может достигать 50 ат.%. Ионное распыление является эффективным методом травления поверхности композита для анализа микроструктуры.
展开▼
