電気的過渡応答法による圧電·超音波デバイスのハイパワー特性測定：温度及び外部電界の影響を排除した振動応力依存性の測定·解析手法

摘要

ここでは、電気的過渡応答法による圧電振動子のハイパワー特性の測定·解析手法について、手順を追ってできるだけ具体的に説明し、次いで実際の測定例とその応用等を紹介する。