精製装置材ンライン精製器:精製装置、大型装置の不振により16．5％減、精製器11．1％減

摘要

12年度の精製装置市場は、出荷台数は横ばいであったが、半導体製造工場の設備投資が低調だったことにより、大型装置の出荷が不振だったことが影響して16．5％減となった。