垂直磁気記録媒体用スパッタリングターゲット材

摘要

ハードディスクドライブは，パソコンやサーバー用途に加え，ビデオレコーダーやカーナビゲーションを始めとする家電用途が拡大し，いっそう身近なものとなった。記録密度の向上にあたっては熱揺らぎなどの深刻な技術的課題が懸念されたが，ヘッドはGMR（Giant Magneto－Resistance）方式からTMR（Tunneling Magneto-Resistance）方式へ，媒体は面内記録方式から垂直記録方式1）へと進化を遂げ，依然，外部記憶装置の中心的存在である。図1に垂直磁気記録媒体の模式図を示す。垂直磁気記録媒体はスパッタリング法により形成された薄膜からなり，構造と材質はメーカー毎に多様である。