酸化亜鉛透明導電膜の性能，コストの両面で優位性を確実をものに/大型薄型ディスプレイ向け反応性プラズマ蒸着法成膜技術の開発

摘要

「透明電極向けITO代替材料開発」をテーマに採択された委託事業者は 独立行政法人産業技術総合研究所，金沢工業大学，高知工科大学，アルプス毒気，カシオ計算磯，ジ漆マテック，ZnOラボ，ハクスイテック，三菱ガス化学，財団法人四国産業·技術振興センター。 研究概要は，大型フラットパネルディスプレイ向け反応性プラズマ蒸着法(RPD法)成膜技術の開発，新たな酸化抑制型成膜技術(基礎技術は直流マグネトロンスッバッタリング)などの開発を行う。 このプロジェクト·リーダーである高知工科大学工学部総合研究所マテリアルデザインセンターセンター長，山本哲也教授に研究体制や実用化に向けての課題について聞いた。