熱プラズマプロセソシンダにおける『協奏増幅』を利用した機能性微粒子の創製

摘要

大気圧付近で発生する熱プラズマは，1万度以上の超高温を持ち，化学的に活性な化学種を有している。 また，ガス流がプラズマ発生領域から離れて行くとき10~(6-7)度／秒で急冷される。 プラズマ中での材料とプラズマ中の相互作用における『協奏増幅』効果を利用すると，形艶結晶構嵐化学組成において従来にない材料を合成することが可能である。に高周波熱プラズマトーチの模式図を示した．高周波コイルを通して，周波数。数MHz入力?数十kWの高周波を供給すると大気圧付近で値生経数十mmのプラズマ発生が可能である。 高周波手熱プラズマの特徴は，①超高温領域の体積が大きい，②流速が低い（数十m／秒），③酸化、還元，反応性といった各種雰囲気のプラズマが発生できるところにある。 図2は，数値解析によってもとめられた高周波熱プラズマの温度分布と流線でめる~［1〕。 コイル付近の温度は1万度以上に達しでいることがわかる．プラズマ流の超高温領域の滞留時間は10～20ミリ秒であり，この領域を離れると高い速度で冷却される．