固体吸着アクティブサンプラーを用いた気中アニオン成分の短時間捕集·高感度評価

摘要

半導体製造工程におけるコンタミネーションコントロールは、製品の歩留まりを上げるために重要となる。そのため、製品の製造雰囲気中の汚染状況を把挺することが必要である。一般に、半導体製造雰囲気の分子状汚染物質（AMC）は、指針にも示されているように、目的成分ごとに異なった手法でサンプリングおよび測定が行われている。特にイオン成分については、測定感度を得るため十分な量をインピンジャー吸収液に捕集する必要があり、通常24時間といった長時間の通気が必要である。そのため装置内などの局所空間では容量の制限があること、またプロセス間でのAMCの変化を調査するためには時間の制限があることから、評価に必要を測定感度が得られず、必ずしも十分な手法ではなかった。また、近年海外での分析ニーズに対応するためには、輸送が困難な水を使用しない吸収剤にて揃集することが望まじいとされてきた。