X線透視観察装置における高白黒階調性能の効果について

摘要

最近のX線透視観察装置においては、X線受光デバイスの性能が向上し、大画面化、高分解能化に加えて白黒階調データの多ビット化による高白黒階調化が実現している。この高白黒階調化は他の性能向上と比べて着目度は低いが、部品や材料のX線透視観察においてその能力を大きく向上させる効果をもたらす。本報告では、従来X線透視での観察が困難とされている半導体A 1ワイヤ配線や積層セラミックコンデンサのクラック故障の観察について、白黒階調データが8ビットと16ビットの装置を比較する形で観察結果を示し、高白黒階調化による観察性能の向上効果を説明する。さらに、樹脂成形部品において高白黒階調による樹脂流動の可視化についても報告する。