トライボファブリケーション技術構築のための新しい加工要素の研究（第一報：環境配慮型RBセラミックスボンド砥石と微粒鋳鉄ボンド砥石の開発について）

摘要

本研究では，トライボロジーと加工/製造とのインタラクションにおける技術の融合を表す用語として，「トライボファブリケーション」という言葉を提案し，ELID研削において取り組んでいるトライボファブリケーション技術構築のための新しい加工ツールの研究（環境配慮型RBセラミックスボンド砥石の開発，微粒鋳鉄ボンド砥石の開発）を紹介した．環境配慮型RBセラミックスボンド砥石の開発では，RBセラミックス粒子を配合した砥石の製造条件とボンド材料のトライボロジー特性および単結晶シリコンのELID研削加工を行った際の加工特性との相互の関係を明らかにした．また，放電プラズマ焼結(SPS: Spark Plasma Sintering)法による微粒鋳鉄ボンド砥石の開発では，砥石の製造条件とボンド材料のトライボロジー特性の関係を明らかにした上で好適な製造条件を選定し，#1200の微粒鋳鉄ボンドダイヤモンド砥石を試作し，サファイアのELID研削加工を行った結果，高効率な除去加工が達成できた．