熱電効果を利用した円筒研削面粗さの高速オンマシン測定法

摘要

量産における表面粗さの検査は，個々の部品の加工サイクルタイムに比べて，表面粗さの測定に多くの時間を要するため，抜取り検査方式に依らざるを得ないのが現状である．本論文では，従来の触針式表面粗さ測定では不可能であった，加工時と同様な回転状態にある円筒研削面の粗さ測定を機上で高速に実施し，加工ライン上で表面粗さの全数検査を実現する新しい測定技術の開発を目的としている．そのために熱電効果を利用した新しい表面粗さ測定法を提案し，その測定特性について実験的に検討することで，円筒研削された工作物の表面粗さを高速にオンマシン測定する可能性を実証している．その結果，回転する工作物に熱電対を利用したセンサを接触させることにより発生する起電力から表面粗さを瞬時に求めることができること，触針式表面粗さ測定法におけるスタイラストレース速度の約2000倍の周速度で回転する工作物の表面粗さも機上において測定可能であることを明らかにしている．