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机译:用不平衡的磁系统在磁控管中沉积的TiO_x涂层的椭偏。氧浓度和“磁控基体”距离的影响
покрытие; оксиды титана; магнетронное напыление; спектральная эллипсометрия; фотокаталитические свойства;
机译:用过氧化氢硅化钛表面的腐蚀行为:基于亚微米TiO_x的球体,纳米复合性TiO_x / SiO_x阶段和中孔TiO_x / SiO_x网络的形成
机译:椭圆形测定件TiO_X涂层涂层,磁控管安装,具有不平衡的磁系统。 氧浓度和距离“磁控谱”的影响
机译:等离子体中氧部分对磁控沉积TiO_x涂层相组成影响的研究