Прогресс в производстве источников с.в.ч.-из-лучения в виде магнетронов с рабочей частотой 2.45 ГГц позволил максимально удешевить и упростить бытовые с.в.ч.-печи, сделав их безопасными и надёжными приборами. Известно устройство плазменной очистки, изготовленное на основе бытовой с.в.ч.-печи [1]. Для обработки малогабаритных деталей в с.в.ч.-плазме внутри камеры с.в.ч.-печи помещена вакуумная ячейка с диэлектрическими стенками, давление в которой поддерживается на уровне 1 Торр.
展开▼
