ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРНЫХ И ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ТОНКИХ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК ОКСИДА ЦИНКА, ПОЛУЧЕННЫХ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫМ МЕТОДОМ

摘要

Приведены результаты исследования тонких поликристаллических пленок оксида цинка, созданных по новой элионной технологии - ионно-плазменного распыления металлической мишени в среде сильного газового окислителя. Показано, что ионно-плазменным методом можно синтезировать тонкие поликристаллические пленки оксида цинка с оптическими свойствами, близкими к оптическим свойствам монокристаллического оксида цинка. Оптические свойства тонких поликристаллических пленок оксида цинка, синтезированных ионно-плазменным методом, могут быть использованы в качестве светозвукопровода тонкопленочных акустооптических устройств, работающих на поверхностных акустических волнах, или ультрафиолетовых фотоприемников.