Импульсный двухканальный спектральный эллипсометр с бинарной модуляцией состояния поляризации

摘要

Измеряемые спектральными эллипсометрами спектры эллипсометрических параметров tgψ и cosΔ определяют изменение известного состояния поляризации излучения при взаимодействии с исследуемым объектом. Детальную информацию о таких важных параметрах исследуемых структур, как, например, дисперсия оптических постоянных, толщины слоев, степень шероховатости поверхности, степень пористости и кристалличности в объеме материала определяются в рамках соответствия с различными физическими моделями [1].