АНАЛИЗАТОР ИМПЕДАНСА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР В ДИАПАЗОНЕ ИНФРАНИЗКИХ ЧАСТОТ

摘要

Разработан анализатор импеданса полупроводниковых структур на инфранизких частотах. Анализатор содержит выносную измерительную головку, размещаемую вблизи исследуемой структуры, и электронный блок, подключенный к компьютеру по интерфейсу USB. Анализатор измеряет емкость, проводимость и ток структуры в диапазоне частот 0.01 - 10 Гц, диапазоны измерений: емкости - 10, 100, 1000 пФ, тока - 25, 250, 2500 пА, проводимости - 10, 100, 1000 пСм.