РАЗРАБОТКА И ИЗГОТОВЛЕНИЕ БЛИЖНЕПОЛЫЮГО ТЕРАГЕРЦОВОГО СКАНИРУЮЩЕГО ОПТИЧЕСКОГО МИКРОСКОПА С БЛОКОМ НАРУШЕННОГО ПОЛНОГО ВНУТРЕННЕГО ОТРАЖЕНИЯ

摘要

Разработан и изготовлен ближнеполъный терагерцовый сканирующий оптический микроскоп с блоком нарушенного полного внутреннего отражения и лазером на свободных электронах в качестве источника излучения. Созданы и испытаны сканирующая система с позиционированием с помощью конфокального датчика с хроматическим кодированием и датчик касания поверхности субволновым зондом. В датчике касания реализован новый метод определения расстояния между зондом и проводящей поверхностью по току коронного разряда. Для работы с импульсным излучением Новосибирского терагерцового лазера на свободных электронах разработана специализированная система синхронного детектирования рассеянного зондом излучения, включающая сверхпроводящий болометр на горячих электронах и электронную схему накопления сигнала. Проведены испытания всех элементов микроскопа, показавшие их работоспособность. Начаты эксперименты по регистрации рассеянного зондом микроскопа терагерцового излучения.