Описан спектральный эллипсометрическии комплекс, предназначенный для прецизионных измерений толщин многослойных тонкопленочных структур с субнанометровым разрешением и исследования с высоким быстродействием спектральных оптических постоянных и структурных свойств материалов в широком спектральном диапазоне.
展开▼
