ГРАДУИРОВКА ТОНКОПЛЕНОЧНОГО СЕНСОРА ГАЗА

摘要

Предложен метод измерения концентрационной зависимости газовой чувствительности тонкопленочного сенсора газа в динамическом режиме с использованием только одной аттестованной газовоздушной пробы, концентрация примеси в которой соответствует верхнему пределу диапазона концентраций, для которого выполняется градуировка. Достоинством метода является сокращение времени, необходимого для выполнения измерений. Приведены результаты исследования быстродействия сенсора паров этанола в воздухе на основе тонкой пленки диоксида олова (SnO{sub}2) и концентрационная зависимость его чувствительности к парам этанола.