ДИНАМИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ 'ИДЕАЛЬНОЙ' ВАКУУМНОЙ СИСТЕМЫ

摘要

Экспериментально исследованы динамические характеристики идеальной (без собственного газовыделения и адсорбции на стенках) вакуумнойсистемы при регулируемом газовыделении - подаче импульсов газа в форме последовательности прямоугольных пиков. Показано, что поведение вакуумной системы может быть описано функцией апериодического звена.