ЭЛЕКТРОМАГНИТНАЯ ТРЕХКО OP ДИН АТНАЯ ШАГОВАЯ СИСТЕМА ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ ОСТРИЯ СКАНИРУЮЩЕГО ТУННЕЛЬНОГО МИКРОСКОПА

摘要

Описано простое компактное устройство шагового перемещения по трем координатам, предназначенное для позиционирования острия сканирующего туннельного микроскопа, работающего при гелиевых температурах. Движение осуществляется за счет сил взаимодействия токов в системе катушек при пропускании через них импульсов тока до 10 А длительностью 20-200 мкс. Диапазон перемещения по всем координатам несколько миллиметров, размеры шага управляемо варьируются в пределах от 0.1 до нескольких десятков микрометров путем изменения длительности и амплитуды импульсов тока. Напряжение, подаваемое на элементы двигателей, не превышает 100 В, что исключает возможность электрического пробоя при работе в газообразном гелии любого давления.