真空の基礎－真空という特殊な空間の基礎知識

摘要

真空は様々な工業分野で利用されている。これは真空が気体分子数が少ない空間で、大気圧では得られない諸現象が得られるためである。例えば真空の基本的な使われ方である「蒸着」は、「固体を加熱蒸発させて蒸気（気体）とし、空間を飛行させ、離れた目的物の上で再び固体に戻す事」である。しかし、個体を蒸気にする、蒸気を空間の中を一定の距離飛行させる、蒸気を一定時間安定して存在させるために、空間内部の気体分子数を少なくし、蒸気と気体分子の衝突を防ぐ必要が有る。このような事から、より低い真空圧力達成に取り組むと、真空機器、材料に様々な要求が発生し、また圧力の測定等が重要な問題となる。本文では以下を説明し、真空の基礎的な理解を図りたい。①真空や圧力の基礎的な事項や用語（2章）②圧力測定（3章）③真空に使用する材料（4章）④真空装置の構成の基本（5章）本文は、日本真空工業会編「初歩から学ぶ真空技術」を基本にまとめた。詳細内容や、理論的、数式的な理解については、上記や他の書籍を参照されたい。