リニアガイドウェイ編(3)－リニアガイドの高精度化技術の開発動向

摘要

工作機械や各種製造·検査装置などにおいて，テーブル送り系は位置決め精度を決定するうえで重要な運動系である。中でも，リニアガイドに代表される直動案内は重要な機械要素であり，近年の工作機械や各種製造·検査装置の高精度化とともに，きわめて高い運動精度を要求されるようになっている。本稿では，リニアガイドの運動精度にかかわる要因の検討と，その高精度化技術について紹介する。