高周波振動援用プラズマ放電研削装置及びその方法

摘要

本発明は、研削砥石に高周波振動を伝搬して工作物を研削する高周波振動援用研削装置に係り、特に高周波振動とプラズマ放電と研削加工を好適に組み合わせることにより、プラズマ放電による難削材の加工表面を快削化させて低加工圧での研削を可能とし、また加工液を小径なパイプ電極内を良好に通水させて好適なプラズマ放電や研削加工を可能とする高周波振動援用プラズマ放電研削装置及びその方法に関する。この電解研削装置は、研削砥石と工作物の間に電解液を介し、電圧を印加して電解研削するものであり、研削《砥粒の運動エネルギー》と、電解《工作物への電気エネルギー》の2つの要素を組み合わせた加工技術である。