超高精度·高速駆動を実現したCNC3次元測定機「LEGEX」

摘要

近年、工作機械の加工精度が向上し、ワーク精度が飛躍的にアップしてきた。 このような背景により測定機に求められる精度もアップし、今までのμmオーダからサブμmオーダ、さらにはナノメートルオーダの世界に進展しつつある。 そこで当社は、次世代CMMの一環として超高精度3次元測定機「LEGEXシリーズ」を開発し、ユーザーニーズに応えるべく市場へ投入した。本稿では、LEGEX開発に関連した基幹技術を説明し、LEGEXシリーズの仕様および性能まで紹介する。