選択成長導波路アレイを用いた熱光学効果光偏向器·光スイッチに関する研究

摘要

我々はGaInAs/InP MQW構造を用いたアレイ導波路型波長分割光スイッチの研究を行っている．このアレイ導波路は，MOVPE選択成長法において非対称SiO_2マスクパターンを用いることにより．MQW層厚を徐々に変化させ，それぞれの導波路において階段型屈折率分布を有する構造となっている．この構造により，アレイ導波路を伝搬する光はそれぞれ異なる位相で出射するため，互いに干渉し波面の揃う方向に回折する．また，回折角は波長に依存することから，波長の異なる光の集光する位置はそれぞれ異なり，異なる波長を別々に取り出すことが可能となる．したがって，曲げ導波路を用いない直線型波長分波器の実現が期待できる。 今回、この階段型屈折率分布アレイ導波路おける熱光学効果をもちいた光偏向器，光スイッチの測定を行った結果を報告する。