Электронная и сканирующая зондовая микроскопия металлосодержащих алмазоподобных нанокомпозитов

摘要

Представлены результаты комплексных исследований атомной структуры и морфологии пленок металлосодержащих алмазоподобных нанокомпозитов, выполненных на кафедре полупроводниковой электроники МЭИ с помощью просвечивающего и растрового электронных микроскопов, а также современного сканирующего зондового микроскопа SOLVER PRO.