薄膜材料の変形計測技術

摘要

計算機の性能が十分でなかった時代は計算コストの小さい張力場理論を用いた解析が主流であり，解析法の妥当性検証に関する実験は目視によって皺の発生領域と発生方向ならびに弛み領域を確認し解析結果と実験結果を比較するものであった．近年，計算機性能の向上とともに計算コストの高い（疑似）分岐座屈理論を用いた解析が行われるようになり，それに伴い解析法の妥当性検証に関する実験も3次元形状計測へと移行していき実験結果と解析結果を定量的に比較する研究が行われている．今回は，これまで行われてきた薄膜の形状計測実験について概観するとともに，薄膜の形状計測実験で用いられている計測法，実験モデル，実験装置の一部を紹介する．