Ti製受音膜裏面に水熱合成PZT多結晶膜を成膜した堅牢ハイドロホンの特性改善のための検討

摘要

我々の開発した耐キャビテーション·ハイドロホンは、超音波洗浄器の水槽中やHIFU治療装置の集束音場のようなキャビテーションの発生を伴う強力な超音波音場中でも壊れることなく長時間にわたって計測可能であることを確認できた。しかしながら、HIFU装置の焦点に設置したにもかかわらず試作ハイドロホンの出力波形が非線形歪みの小さな正弦波状の波形しか観測できなかった。これは、ハイドロホンの高周波域における受波感度が低いためと考えられる。そこで、等価回路を用いた数値計算に基づいてハイドロホンの特性解析を行った結果、Ti膜前面板の厚さを現在の50μmから5μm以下に変更することが望ましいことがわかった。