超微粒子調製技術とその機能及び応用

摘要

コロイグルシリカに関する，最近の話題を中心に報告した。今回は紙面の都合で、ヘテロ元素との複合あるいは積層ゾル（有機物とのハイブリッドゾル，数種の酸化物の組合わせゾル等）に関しては割愛したが，筆者らは興味ある特性が得られることを見出している。 これ以外にも，筆者らはLSI用層間絶縁膜にコロイダルシリカを使用し、実剛ヒした。 さらに現在では，60nm以下の配線ルールにおける眉間絶縁膜は，誘電率を下げるために，膜内に均一な細孔を形成することが求められている。 細孔形成のため，ニコロイダルシリカの配列構造の隙間を利用する方法，有機物を鋳型として利用する方法，粒子内に細孔を持つシリカライト的構造粒子を利用する等の方法が盛んに研究されている。 このように，コロイグルシリカは早くから知られたナノ材料であるが，現在なお最先端技術分野でも盛んに検討されている興味ある材料と言える。