ナノインプリント技術による微細構造の形成

摘要

半導体産業に代表されるように，微細加工技術はデバイスの集積化や高機能化を可能とし，システムの高性能化に欠かせない技術体系となっている．しかし，例えばミクロンオーダ以下の加工の際には，異物のないクリーンな環境下で振動を排除し，加工環境の温度を一定に保つことで熱膨張による寸法変動を抑制する必要があるなど，加工には莫大なコストがかかっている．そのため，最先端の微細加工技術を適用できる産業分野は，半導体や液晶ディスプレイのように大規模な市場を形成している産業に限定されている．