準安定hcp-NiFe薄膜のエピタキシャル成長と特性評価

摘要

微粒子や薄膜状態では，状態図に存在しない準安定なhcp構造のNiおよびNiFe結晶の形成が可能であると報告されている．しかしながら，これまで報告されているhcp結晶は安定であるfcc相に変化しやすく，fcc相を多く含んでいる．最近，我々はAu（100）_(fcc)下地層を用いることにより，膜形成後も安定なhqp-Niおよびhcp-NiFe膜の形成が可能であることを見出した．また，bcc-Crおよびhcp-Ru下地層上においても同様にhcp-Ni結晶が形成されることも報告した．本研究では，bcc-Cr（100），（211），（110）下地層上にhcp-NiFe膜の形成を試み，Cr下地層の結晶方位がNiFe膜の成長機構および膜構造に及ぼす効果について詳細に調べた．